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真空机怎么划分

真空机通常可以根据工作原理、用途和特点来划分。以下是几种常见的真空机类型划分方法:

1. 漏率型和流量型真空机:漏率型真空机主要用于低真空范围,通过减小系统内的气体分子漏率来达到真空的目的。流量型真空机主要用于高真空范围,通过抽取气体来达到真空的目的。

2. 机械泵和物理泵:机械泵主要通过机械运动来抽取气体,常见的机械泵有旋片泵、回旋泵和离心泵等。物理泵主要通过分子扩散、冷凝和吸附等物理现象来抽取气体,常见的物理泵有扩散泵、冷阱泵和离子泵等。

3. 低真空机、中真空机和高真空机:低真空机通常是指工作压力范围在10^2 - 10^3 Pa之间的真空机,如旋片泵、回旋泵等。中真空机通常是指工作压力范围在10^3 - 10^6 Pa之间的真空机,如扩散泵、冷阱泵等。高真空机通常是指工作压力范围在10^6 - 10^9 Pa之间的真空机,如离子泵、分子泵等。

4. 涡轮分子泵和离子泵:涡轮分子泵主要通过涡轮叶轮快速旋转来抽取气体,适用于低压和中压下的气体抽取。离子泵主要通过加热金属表面使气体分子电离,然后通过电场加速并抽取气体,适用于高真空下的气体抽取。

这只是对真空机的基本划分方法,实际上还可以根据更多的因素来划分,如抽取速率、材质、结构等。不同类型的真空机适用于不同的真空要求和工作环境,选择合适的真空机对于实现特定的真空工艺非常重要。

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